三氯氫硅的用途和制法
用途多晶硅、單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。

制法⑴在高溫下Si和HCl反應
⑵用氫還原四氯化硅（采用含鋁化合物的催化劑）
⑶用氫、硅粉、四氯化硅反應。